[17a-Z22-1~10] 11.4 アナログ応用および関連技術

[17a-Z22-5] 石英ナノピペット先端にスパッタ成膜したNb系ナノSQUIDの輸送特性

〇今井 哉汰¹、溝広 拓洋¹、金沢 成晃¹、小久保 伸人¹ (1.電通大院情報理工)

キーワード：超伝導、ナノSQUID、ナノピペット

我々は、酸化や熱サイクルに強い窒化ニオブ膜あるいはニオブ膜に着目し、石英ナノピペット先端を利用したナノSQUID素子の開発を進めている。今回スパッタ装置に成膜方向を揃える絞りを導入し、外径150nm程度の溝付きピペット先端を利用して窒化ニオブ及びニオブのナノSQUID素子を作製した。有効面積で決まる臨界電流の周期的な振動を観測し、ナノピペット先端のループがSQUIDとして動作することを見出した。