PDF ダウンロード スケジュール 30 いいね！ 0 コメント (0) 11:30 〜 11:45 [17a-Z28-10] 4H-SiC SJ-UMOSFETにおけるイオン注入プロセスがキャリアライフタイムへ与える影響 〇福井 琢也1、俵 武志2、加藤 正史1 (1.名工大、2.産総研) キーワード：キャリアライフタイム、シリコンカーバイド、SJ構造
