[17p-Z22-1~9] 11.4 アナログ応用および関連技術

[17p-Z22-5] 480素子LEKIDアレイによる放射線カメラの開発

〇二宮 夏子¹、成瀬 雅人¹、田井野 徹¹、明連 広昭¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：力学インダクタンス検出器、放射線検出器

放射線検出器である力学インダクタンス検出器のうち、1000素子を一度に読み出すことのできるLEKIDに着目し、位置分解能を保持したまま検出面積を大きくしたような放射線カメラの開発を目的として研究を行った。3インチのSiウェハにNbを堆積させ、フォトリソグラフィによって480個のLEKIDを作成し、1K冷凍機内でアルファ線の照射を行うことで性能を評価する。