[18a-Z04-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18a-Z04-8] ドライレーザーピーニング効果に及ぼすフェムト-ピコ秒領域でのパルス幅依存性

〇西端 樹¹、吉田 雅幸¹、伊藤 佑介²、杉田 直彦²、廣瀬 明夫¹、佐野 智一¹ (1.阪大院工、2.東大院工)

キーワード：超短パルスレーザー、ピーニング

ドライレーザーピーニングにおいて，エネルギーを0.95 mJに固定し，パルス幅依存性を評価した．パルス幅が短い条件では大気の絶縁破壊閾値以上のレーザー強度となり，非線形現象が顕著となりフルエンスが低下し，ピーニング効果が低下する．一方，パルス幅が長い条件では熱影響が増加し，ピーニング効果が低下する．以上より，大気の絶縁破壊閾値を超えるレーザー強度を用いたドライレーザーピーニングでは最適なパルス幅が存在する．