[18a-Z05-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [18a-Z05-5] 近接昇華法による4H-SiCのB,N高濃度コドーピングに関する検討

〇山根 耀真¹、Weifang Lu¹、柳井 光佑¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹、赤﨑 勇^1,2 (1.名城大理工、2.赤﨑記念研究センター)

キーワード：半導体、SiC、蛍光SiC