[18a-Z13-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-Z13-1] 高温高圧処理したBイオン注入ダイヤモンドの表面近傍不純物分布

〇東浦 健人¹、鳥生 大樹¹、福田 玲¹、石川 史太郎¹、新名 亨²、大藤 弘明²、入舩 徹男² (1.愛媛大工、2.愛媛大 GRC)

キーワード：半導体、ダイヤモンド