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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-Z29-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

2021年3月18日(木) 10:00 〜 12:15 Z29 (Z29)

小椋厚志(明治大)

10:45 〜 11:00

[18a-Z29-4] スパッタによるa-Si:H膜を用いたTOPCon構造形成の検討

〇宮本拓実¹、白取優大^1,2、宮島晋介¹ (1.東京工業大学、2.学振特別研究員DC1)

キーワード：スパッタリング、TOPCon構造、シランフリー技術