2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物（SiC）

[18p-Z05-1~16] 15.6 IV族系化合物（SiC）

2021年3月18日(木) 13:30 〜 18:00 Z05 (Z05)

細井 卓治(阪大)、竹内 和歌奈(愛工大)、平井 悠久(産総研)

14:45 〜 15:00

△ [18p-Z05-6] リン処理を施したSiC MOSFETにおける実効移動度のボディ電位依存性

〇(D)伊藤 滉二1、堀田 昌宏1,2、須田 淳1,2、木本 恒暢1 (1.京大院工、2.名大院工)

キーワード：SiC、MOS、MOSFET