[19a-Z05-1~10] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[19a-Z05-4] エアブリッジ形導波路形成のためのエッチングプロセスの検討

〇(M2)山中 直貴¹、端山 喜紀¹、中津原 克己¹ (1.神奈川工科大)

キーワード：光スイッチ、エアブリッジ、導波路

強誘電性液晶を用いた可変位相シフタの性能向上を目指してエアブリッジ型Nb₂O₅導波路の製作プロセスの検討を行ったので報告する。