[19a-Z13-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-Z13-1] スパッタ法におけるBiFeO₃薄膜の成長機構の検討

〇菊地 理沙¹、村瀬 幹生¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：強誘電体、BiFeO3、圧電体