[19a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-Z27-2] 極小ピットを介したAlNテンプレートの高品質化

〇奥野 椋¹、日高 遼太²、斉藤 貴大²、岡田 成仁²、前田 哲利³、定 昌史³、平山 秀樹³、倉井 聡²、山田 陽一²、只友 一行² (1.山口大学工学部、2.山口大学院創成科学、3.理研)

キーワード：AlN、MOVPE