[19a-Z33-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-Z33-4] 顕微ラマンマッピング測定による酸化ガリウム結晶の微細構造評価

〇(M1)中西 雅彦¹、飯塚 万友¹、庄司 昂平¹、桝谷 聡士²、嘉数 誠³、山口 智広¹、本田 徹¹、佐々木 公平²、倉又 朗人²、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.佐賀大)

キーワード：酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード、ラマンマッピング

β-Ga₂O₃結晶に対しラマンマッピング測定を行い、ラマン散乱強度分布から微細構造の可視化を試みた。β-Ga₂O₃には無極性光学フォノンとして10個のA_gモードと5個のB_gモードがあるが、全て800 cm^-1以下に観測された。また、1300 cm^-1付近にはブロードなピークが観測された。光学顕微鏡像、A_g(1)、A_g(3)、1300 cm^-1でのラマンマッピング像の比較を行った。その結果、光学顕微鏡では観測できない微細構造を、顕微ラマンマッピングにより可視化することができた。