[19p-P01-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

[19p-P01-7] 液体前駆体を用いてMBE成長したWS₂薄膜の硫黄アニールによる膜質改善

〇(M2)井上 敬道¹、上野 啓司¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、二硫化タングステン、分子線エピタキシー

層状6族TMDCの多くはバンドギャップを持つため、半導体素子への応用が注目されている。TMDC薄膜の合成法には様々な方法があるが、低温で、表面構造の直接観察をすることは困難である。本研究では液体前駆体を用い、二硫化タングステン(WS₂)薄膜のMBE成長を行った。成長した膜に気化させた硫黄前駆体を更に供給することで、膜質が改善できることが確認できた。