2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[19p-Z25-1~14] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

2021年3月19日(金) 13:00 〜 16:45 Z25 (Z25)

加藤 正史(名工大)

13:15 〜 13:30

[19p-Z25-2] i線ステッパーを用いた150 nmゲートAlGaN/GaN HEMTの作製

〇安藤 裕二1、高橋 英匡1、分島 彰男3、須田 淳1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.名工大)

キーワード：GaN、HEMT