Hybrid Pulsed laser-based micro-scribing of Copper from a dielectric substrate

講演情報

Oral Session

H. Innovative Materials Processing for Sustainable Society » [H-4] Smart Laser Processing for Green Technologies

[H4-O7] Slot 07

2021年12月15日(水) 14:30 〜 18:00 Room S (G320)

Chair: Nilesh J. Vasa (Indian Institute of Technology Madras), Siti Rahmah Aid (Universiti Teknologi Malaysia)

15:40 〜 16:00

*SOORAJ S¹, NILESH J VASA¹ (1. INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY MADRAS (India))

キーワード：Pulsed laser, Micro-scribing, Recast layer, Sodium Chloride

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