10:15 〜 10:30 [19a-Z33-6] (001)β-Ga2O3上に形成した原子層堆積Al2O3に対する成膜後熱処理効果 〇平岩 篤1,4、堀川 清貴2、川原田 洋1,2,3、加渡 幹尚5、旦野 克典5 (1.早大ナノ・ライフ、2.早大理工、3.早大材研、4.名大未来研、5.トヨタ自動車)