15:30 〜 15:45 [18p-Z33-9] 残留 Ar を伴う ZnO 薄膜の化学結合状態 〇山本 哲也1、野本 淳一2、牧野 久雄1、中島 智彦2、土屋 哲雄2 (1.高知工科大総研、2.産総研先進コーテイング技研センター)