11:00 〜 11:15 [19a-Z33-8] 高感度エミッション顕微鏡によるHVPE(001)beta型酸化ガリウムSBDのリーク電流の起源の同定―微粒子による積層欠陥 〇嘉数 誠1、スダーン セイリープ1、佐々木 公平2、桝谷 聡士2、川崎 克己3、平林 潤3、倉又 朗人2 (1.佐賀大院工、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.TDK(株))