13:45 〜 14:00 [19p-Z24-2] ミニマルファブにおけるTiNゲートSOI-CMOSプロセスシュリンクの検討 〇古賀 和博1、柳 永勛2、居村 史人1,2、加瀬 雅2、野田 周一2、根本 一正2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)