13:00 〜 13:50 [16p-P01-16] 圧力勾配スパッタリング法による AlN 膜の作製と構造評価 〇(M1)原口 謙吾1、市瀬 亮1、太田 裕己2、米澤 健2、寺井 慶和1 (1.九工大情報工、2.ケニックス(株))