14:30 〜 14:45 [19p-Z24-5] ミニマルファブを用いたピエゾ抵抗型加速度センサの開発 〇小粥 敬成1、田中 宏幸1,2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)