10:30 〜 10:45 [18a-Z27-6] フラックス膜成長(FFC-sputtering)法によるAlN結晶成長 〇ソン イェリン1,2、川村 史朗1、大橋 直樹1,3、島村 清史1,2 (1.物材機構、2.早大・理工、3.東工大)