17:45 〜 18:00 △ [19p-Z22-16] 寄生抵抗を考慮した近赤外InGaAs PhotoFETsの感度評価 〇(M1)大石 和明1,2、石井 裕之2、張 文馨2、石井 寛仁1,2、遠藤 聡1、藤代 博記1、前田 辰郎1,2 (1.東理大、2.産総研)