[16a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [16a-Z27-8] 光・化学遺伝学的同時操作のためのLED／流路神経プローブの開発

〇大屋 翔¹、中山 雄晟²、安永 弘樹¹、山崎 久朗²、西川 敦³、Loesing Alexander³、大澤 匡弘²、関口 寛人^1,4 (1.豊技大、2.名市大、3.ALLOS、4.JST さきがけ)

キーワード：マイクロLED、流体チャネル、神経プローブ

脳機能解明に向けた光操作のためのマイクロLEDと薬液を投入するための流体チャネルを集積した神経プローブ開発に取り組んだ.
これまで開発を進めてきたマイクロLEDを作製後に,形成する流路の検討を行った.はじめにGaN-LED/Siウエハに流路を作製した.作製した流路プローブにて,圧縮空気を用いた圧力制御により水を流したところ100kPa印加で15 mL/minの流量を確認した.したがって,光刺激と薬剤投与を同時に行うプローブの実現が期待される.