[16p-P01-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-P01-7] 極性/半極性InGaN/GaN量子井戸におけるアルミニウム薄膜を用いた表面プラズモン共鳴による発光増強

〇河合 奏太¹、池田 健人¹、亀谷 純¹、松山 哲也¹、和田 健司¹、岡田 成仁²、只友 一行²、岡本 晃一¹ (1.阪府大院工、2.山口大院創成)

キーワード：表面プラズモン、InGaN/GaN、半極性

InGaN/GaN量子井戸は量子閉じ込めシュタルク効果(QCSE)により緑色の発光波長において発光効率が著しく低下する．QCSEは半極性InGaN/GaNにおいて低減できるが，我々は以前Ag薄膜を蒸着して表面プラズモン共鳴を用いることで，極性面試料以上の発光増強が得られることを見出した．今回はAl薄膜による発光増強を試み，Ag薄膜との比較，時間分解発光寿命測定によって発光機構を解析した．