[17p-Z13-1~8] 1.6 超音波

△ [17p-Z13-4] PbTiO3エピタキシャル薄膜の基板裏面における反射率測定を用いたGHz帯指紋イメージング

〇(M1)佐藤 裕友^1,2、石井 直輝^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：指紋イメージング、圧電デバイス、PZTエピタキシャル薄膜

超音波方式の指紋センサは指に汗や水が付着してもイメージングできるという特長を持つ。さらには小型の静脈認証センサへの期待が高まっている。過去に誘電率が高いpMUTを利用したイメージングデバイスが多数報告されている。pMUTは音響インピーダンスの低い媒質へと効率よく音波を伝搬できる代わりに、駆動周波数が数十MHzにとどまってしまう。本研究ではGHz帯厚み縦モードを用いることを考えた。GHz帯の超音波を用いることで空間分解能を向上させることができる。以上より本研究ではPbTiO3エピ薄膜のGHz帯厚み縦モードを用いた指紋イメージングを行った。