[17p-Z13-1~8] 1.6 超音波

[17p-Z13-6] c軸傾斜配向ScAlN薄膜の横波反射率測定による液体の粘性評価

〇(M1)山下 美穂^1,2、木下 紗里那^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：圧電材料

液体試料の粘弾性を評価する手法の一つに、複素反射率測定が報告されている。本報では基板付き厚みすべりモードc軸傾斜薄膜ScAlN薄膜共振子のSH波の垂直入射による複素反射率測定の原理で液体試料の粘弾性評価を行った。