[17p-Z28-1~14] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[17p-Z28-14] 物理研磨を用いたGaAsマイクロレンズの作製

〇国土 泰介¹、菊井 大輝²、岡 大智²、下村 哲² (1.愛媛大院理工、2.愛媛大工)

キーワード：半導体、GaAs、マイクロレンズ