2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[17p-Z28-1~14] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

2021年3月17日(水) 13:30 〜 18:00 Z28 (Z28)

尾崎 信彦(和歌山大)、海津 利行(神戸大)、富永 依里子(広島大)、尾鍋 研太郎

14:15 〜 14:30

[17p-Z28-2] ガラス上多結晶GaAs膜における粒径―分光感度の相関解明

西田 竹志1,2、末益 崇1、都甲 薫1 (1.筑波大院、2.学振特別研究員)

キーワード:Al誘起層交換、固相成長、多結晶GaAs