[19a-Z17-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [19a-Z17-6] リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析

〇胡 留剛¹、堤 隆嘉²、蕭 世男²、近藤 博基²、石川 健治²、関根 誠²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ)

キーワード：原子層エッチング、エッチング、グラフェン

グラフェンのエッジの選択反応を実現するため、エッジ部とプレーン部でのエッチング反応確率の選択性を解明するために、酸素ラジカルの絶対密度測定から、酸素ラジカルのグラフェンエッチング反応確率を調べた。