[19a-Z31-1~11] 17.3 層状物質

[19a-Z31-1] 二硫化タンタルの酸化による2D-FET 用ゲート誘電体の検討

〇竹内 颯¹、浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大、2.信州大　先鋭材料研)

キーワード：層状物質