2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[19p-P01-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

2021年3月19日(金) 13:00 〜 13:50 P01 (ポスター)

13:00 〜 13:50

[19p-P01-21] ポーラスエピタキシャルグラフェン形成におけるSiC表面構造の影響

平井 瑠一1、山下 雄大1、橋本 明弘1 (1.福井大院工)

キーワード:ポーラスエピタキシャルグラフェン、陽極酸化、Si昇華法