[19p-Z27-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19p-Z27-13] AlNの高流速成長における成長メカニズム

〇(B)宮川 拓己¹、津田 翔太¹、青野 零弥¹、揚田 侑哉¹、平山 秀樹^2,3、高島 祐介¹、直井 美貴^1,2、永松 謙太郎^1,2 (1.徳大理工、2.徳大pLED研、3.理研)

キーワード：MOVPE、AlN、高流速成長

MOVPEを用いたAlN成長では原料であるTMAとNH₃が気相中で重合反応を起こしてアダクトを
形成するため、成長速度の低下や結晶欠陥の増大を誘発することが知られている。
本研究では、JETエンジン型高温MOVPEの高流速成長における成長メカニズムを、CFDシミュレーションを用いて考察した。高流速成長では多くのTMAが気相反応を起こす前に成長領域に運ばれることで一般のMOVPEよりも効率よく原料が消費されることが示された。