The 89th ECSJ Spring Meeting

Presentation information

S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

セッション4(学生講演)

Tue. Mar 15, 2022 2:45 PM - 4:45 PM S19 (オンライン)

座長:八重 真治(兵庫県立大学)

主催:電子材料委員会

2:45 PM - 3:00 PM

[1R10(学生講演)] 3d遷移金属の添加によりシリコン窒化膜に形成される欠陥準位

〇西垣 祐汰1、小林 清輝1 (1. 東海大学大学院)