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[406] Pd-Alスパッタ膜の基板温度制御による脱合金Pd膜の形態変化
キーワード：パラジウム、ナノポーラス、TEM
マグネトロンスパッタリングによるAl-Pd薄膜の成膜時に、基板の温度を0℃ 25℃,75℃に保持することで、95℃のEDTA水溶液による脱合金に時に形成される構造を変化させた。
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