■高速分光エリプソメーター（M-2000） ■太陽電池用分光エリプソメーター（T-Solar） ■簡易型分光エリプソメーター（alpha-SE） ■多入射角分光エリプソメーター（VASE）

■顕微鏡用冷却加熱ステージ

Fiber Laser, CW Laser, Pulsed Laser(UV), Pico second LD, Single phton counting Module

■研究成果等のパネル

■卓上走査電子顕微鏡 ■電子ビーム描画装置