■1．グローブボックス内収納／接続型蒸着装置 ■2．真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース式等） ■3．複合型PLD/MBE蒸着装置 ■4．多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

■高出力単一周波数レーザー ■各種レーザー（SLMレーザー含む）■IBSコーティング光学部品 ■ピエゾステージ ■ピエゾモーター ■高出力VCSEL

■ロックインアンプ ■超低雑音増幅器 ■プログラマブル電流増幅器 ■信号発生器 ■バイポーラ電源　など

■EAGの受託分析サービス（TEM、SIMS、TOF-SIMS、RBS…など）

■MBE装置、MOCVD装置、SiC用CVD装置、SiC用超高温プロセス炉、面発光レーザー用酸化装置、各種Kセル

■真空機器全般及び周辺機器の設計製作、加工、販売、据付、調整等　販売提携先: 株式会社サーモ理工、キヤノンアネルバ株式会社、アルバック機工株式会社

■化合物結晶及び各種消耗品

■チェンバースコープ（IRカメラ） ■ペルチェ加熱冷却ステージ ■反射電子検出器 ■STEM検出器 ■小型ピコアンペアメータ ■NanoSIMS依頼分析 ■真空マイクロウェーブ ■イオンミリング装置 ■表面分析装置・コンポーネント・メンテナンス ■XPSデーター解析ソフト ■質量分析コンポーネント ■SEM用蛍光プラットホーム、他

■APEX, JJAP見本誌等

■SiC単結晶ウエハー ■マイクロレジスト ■AlNサセプタ

■ターボ分子ポンプ ■ドライ真空ポンプ

■小型分光器

■波長可変レーザ　他

■量子効率測定システム（QE series）

■膜厚モニター（FE-300）

■スペックルコントラスト測定装置 ■光学単結晶 ■波長変換デバイス ■レーザ

TBD

■レーザパワーメータ ■エネルギーメータ ■レーザビームプロファイラ

■分光器　他

■600MHzデジタルロックインアンプ ■デジタルディレイ/パルスジェネレータ ■電流/電圧アンプモジュール

■オーシャンオプティクス社: 小型分光器、光源、光学部品 ■ラブスフェア社: 積分球、標準反射板 ■NN-Labs社: 量子ドット ■Doric Lens社: LED光源

TBD