■空冷式真空ドライポンプ NeoDry ■真空デシケータ ■真空チャンバー

■小型DPSSレーザ（コボルト社）

■マシンビジョン

■半導体デバイス・アナライザ

■～研究開発用実験装置・機器・部品～ ・ＯＬＥＤ成膜装置（1ｲﾝﾁ～4ｲﾝﾁ）※省スペース・短納期・低コスト ・自動蒸着ソフトウエアのご紹介 ・小型蒸着源（ICF-70）／分析装置用コンポーネント展示 ・各種導入機（直線・回転導入機） ・各種加工部品（特殊材料：Ta,Mo,W,Ti,セラミックス） ・超高真空チェンバー展示 ・真空機器・部品の保守、修理、改造、移設など受付中 ・新製品発表広告展示

真空装置用バルブ・継手・装置改造といえば、【ＫＩＴＺ ＳＣＴ】 ■ボールバルブ、ベローズバルブ、ブロックバルブ、クオーツ管用継手、改造実例など

■外国雑誌サンプル及びパネル展示等

TBD

■ファイバレーザ ■Blue / Violet レーザ ■パワーモニタ

■再利用真空機器・電流導入端子・マグネトロンスパッタ源・真空フランジ

■配管部品・超高真空窓・マスフローコントローラー・漏水検知器

■超精密加工品(非球面ミラー、平面ミラー、他） ■単結晶研磨品 ■金属鏡面研磨品(銅、アルミ、チタン、他)

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポット2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

■クロスライトソフトウェアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

■無制限・強連成マルチフィジックスシミュレーションソフトウェア「COMSOL Multiphysics」

■スパッタ装置 ■UHVスパッタカソード等の実機 ■石英加工品

■光学技研は、1978年に設立された高精密光学部品と試作加工のリーディングカンパニーです。固体レーザ，光学システム及びその他用途の波長板，偏光子，各種光学結晶，高精度デバイスの開発と製造に特化しています。

■オープンクリーンシステム KOACH

■CVD材料、スパッタリングターゲット、各種粉末、粒状材料、スピンコート材料、その他

■高精度形状測定システムDyvoce（ダイボス） ～半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定～ 非接触型の形状測定システム（ダイボス）は、生成した2D/3DモデルからSEMI_STANDARDのSORI･BOW･GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

■ロックインアンプ(SRS)

■熱拡散率測定装置(Bethel)

■残留ガスアナライザ(SRS)

■窒化シリコン薄膜(Silson)

■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGX Sensortech)

■赤外線カメラ (FLIR)

■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICE oxford)

■微細形状測定機