[11a-A11-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[11a-A11-2] 汎用グリーンレーザーを用いた紫外透過性フッ素ポリマーの微細加工技術開発

〇(B)小川 達也¹、及川 良太¹、花田 修賢^{1, 2} (1.弘前大学, 2.理研)

キーワード：紫外透過性フッ素樹脂、YAGレーザー、表面微細加工