[11a-A11-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[11a-A11-7] シリコン表面におけるフェムト秒レーザサブミクロン加工形状へのリップル形成の影響

〇八木 隆志¹、菅原 諒¹、曽根 有紀¹、関口 翔大¹、門井 慎¹、林 竜生¹ (1.東海大理)

キーワード：シリコン、リップル