2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 09:00 〜 12:30 A29 (6A-204)

10:00 〜 10:15

[11a-A29-5] 印刷+メッキ法による低抵抗銅配線技術の開発

〇徳久 英雄1、富田 充1、森田 智子1、伊勢 翔吾1、塚本 志帆1 (1.産総研)

キーワード：銅電極、スクリーン印刷、メッキ