2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 09:00 〜 12:30 A29 (6A-204)

10:15 〜 10:30

[11a-A29-6] シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(I) 高精度加工及びプロセスモニタリング

〇堀川 剛1, 2、志村 大輔2、鄭 錫煥2、徳島 正敏2、木下 啓藏2、最上 徹2 (1.産総研, 2.PETRA)

キーワード：シリコンフォトニクス、光導波路、光集積回路