2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[11a-D7-1~11] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2015年3月11日(水) 09:00 〜 12:00 D7 (16-207)

10:45 〜 11:00

[11a-D7-7] MOCVD法によるGe基板上でのGe1-xSnxエピタキシャル成長 (2)

〇須田 耕平1、木嶋 隆浩1、石原 聖也1、澤本 直美1、町田 英明2、石川 真人2、須藤 弘2、大下 祥雄3、小椋 厚志1 (1.明治大, 2.気相成長, 3.豊田工大)

キーワード:GeSn、MOCVD、エピタキシャル成長