[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [11a-P4-12] X線反射率法を用いたRFプラズマCVD成膜におけるDLC膜界面の分析

〇針谷 達¹、安岡 佑起¹、古田 寛^{1, 2}、八田 章光^{1, 2} (1.高知工科大, 2.高知工科大ナノテクセンター)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、アモルファスカーボン、X線反射率法