[11p-A11-1~14] 3.7 レーザープロセシング

△ [11p-A11-7] フェムト秒レーザーアブレーションにおけるタングステン剥離薄膜形状の局所強度依存性

〇井筒 類¹、江山 剛史¹、柿本 直也¹、富田 卓朗¹、長谷川 登²、錦野 将元²、南 康夫³、馬場 基芳³、河内 哲哉²、山極 満²、末元 徹³ (1.徳島大院ソシオ, 2.原子力機構関西研, 3.東大物性研)

キーワード：フェムト秒レーザー、フルエンス依存