2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 14:00 〜 17:30 A29 (6A-204)

14:00 〜 14:15

[11p-A29-1] 触覚、摩擦、温度センサ集積人工電子皮膚

〇原田 真吾1、金尾 顕一朗1、山本 祐輝1、有江 隆之1、秋田 成司1、竹井 邦晴1 (1.大阪府大)

キーワード:電子皮膚