2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 14:00 〜 17:30 A29 (6A-204)

14:30 〜 14:45

[11p-A29-3] マイクロ流路を一体化したMEMS Fabry‐Perot干渉型表面応力センサの製作

〇桝屋 善光1、小澤 遼1、石田 誠1、澤田 和明1, 2、髙橋 一浩1, 2 (1.豊橋技科大, 2.JST-CREST)

キーワード：表面応力センサ、タンパク質センサ、マイクロ流路