2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 14:00 〜 17:30 A29 (6A-204)

15:00 〜 15:15

[11p-A29-5] エネルギーハーベスティングデバイスの検討(5)

〇小西 敏文1、山根 大輔2、松島 隆明1、益 一哉2、年吉 洋3、町田 克之1, 2 (1.NTT-AT, 2.東工大, 3.東大)

キーワード：MEMS、エネルギーハーベスティング、シミュレーション