16:45 〜 17:00
[11p-B3-8] 集束イオンビーム立体ナノ構造形成技術とその高精度化
キーワード：集束イオンビーム、化学気相成長法、描画装置
講演情報
シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム » 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術
[11p-B3-1~9] 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術
2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:15 B3 (6B-103)
シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム » 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術
2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:15 B3 (6B-103)
16:45 〜 17:00
キーワード：集束イオンビーム、化学気相成長法、描画装置