2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

[11p-B3-1~9] 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:15 B3 (6B-103)

17:00 〜 17:15

[11p-B3-9] メタルフリー · 反応性負イオンFIBへの応用へ向けたイオン液体イオン源の開発と照射効果の検討

〇竹内 光明1、星出 優輝1、龍頭 啓充1、高岡 義寛1 (1.京大光電子理工セ)

キーワード：イオン液体、イオン源